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前言

本規(guī)范是根據(jù)建設(shè)部“關(guān)于印發(fā)《2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計劃(第二批)》的通知”(建標(biāo)函〔2005〕124號)的要求，由中國電子工程設(shè)計院會同有關(guān)單位編制完成的。本規(guī)范在編制過程中，編制組結(jié)合我國電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調(diào)查研究，收集整理相關(guān)的專題報告、測試資料，認(rèn)真

1、總則

1??總????則1.0.1??為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計中，做到技術(shù)先進、經(jīng)濟適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求，制定本規(guī)范。1.0.2??本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計。1.0.3??電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)

2、術(shù)語

2??術(shù)????語2.0.1??潔凈室??clean?room空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。2.0.2??潔凈區(qū)??clean?zone空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子

3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求

3??電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求3.1??一般規(guī)定3.1.1??電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2??生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化

4、總體設(shè)計

4.1 位置選擇和總平面布置4.1.1 潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：1 應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域;2 應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電

5、工藝設(shè)計

5 工藝設(shè)計5.1 一般規(guī)定5.1.1 潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應(yīng)為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預(yù)留必要的條件。5.1.2 潔凈廠房工藝設(shè)計應(yīng)確定各種生產(chǎn)條件，在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應(yīng)做到安全性能好、建設(shè)投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。5.1.3 潔凈廠房工藝設(shè)計

6、建筑設(shè)計

6.1 一般規(guī)定6.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2 潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3 潔凈廠房的立面設(shè)計應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫

7、空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計

7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計7.1 一般規(guī)定7.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2 氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3 有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：1 運行班次或使用時間不

8、給水排水設(shè)計

8 給水排水設(shè)計8.1 一般規(guī)定8.1.1 潔凈廠房的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，并宜敷設(shè)在通行的技術(shù)夾層內(nèi)。條件合適時，也可埋地敷設(shè)。潔凈室(區(qū))內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關(guān)的管道不應(yīng)穿過。8.1.2 穿過潔凈室的水管道，應(yīng)根據(jù)管內(nèi)水溫和所在房間的溫度、濕度確定隔熱防結(jié)露措施。當(dāng)采取隔熱防

9、純水供應(yīng)

9 純水供應(yīng)9.1 一般規(guī)定9.1.1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。9.1.2 純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi);潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3 穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管