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10、氣體供應(yīng)

10 氣體供應(yīng)10.1 一般規(guī)定10.1.1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10.1.3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的

11、化學(xué)品供應(yīng)

11 化學(xué)品供應(yīng)11.1 一般規(guī)定11.1.1 潔凈廠房內(nèi)化學(xué)品的儲存、輸送方式，應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學(xué)品的品質(zhì)、數(shù)量、物理化學(xué)特性等確定。11.1.2 潔凈廠房內(nèi)使用的各類化學(xué)品應(yīng)按照各自的物理化學(xué)特性分類和儲存，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《常用危險化學(xué)品的分類及標志》GB 13690的有關(guān)規(guī)定。11.1.3 在潔凈室

12、電氣設(shè)計

12 電氣設(shè)計12.1 配 電12.1.1 潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2 潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式

13、防靜電與接地設(shè)計

13 防靜電與接地設(shè)計13.1 一般規(guī)定13.1.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。13.1.2 防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設(shè)備)進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全

14、噪音控制

14 噪聲控制14.1 一般規(guī)定14.1.1 潔凈廠房的噪聲控制，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，并應(yīng)保持工作人員具有舒適、安全的環(huán)境。14.1.2 潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計規(guī)范》GBJ 87的有關(guān)規(guī)定。14.1.3 潔凈室(區(qū))的噪聲控制設(shè)計的噪聲級(空態(tài))應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.5條的規(guī)定

15、微振控制

15 微振控制15.1 一般規(guī)定15.1.1 潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2 設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險性分類舉例

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序的火災(zāi)危險性分類舉例注：① 表中房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時，應(yīng)按丙類設(shè)防，否則仍應(yīng)按甲類設(shè)防。② 屏錐加工車間中低熔點玻璃配制和低熔點玻璃涂復(fù)間面積超過本層或防火分區(qū)總面積5%時，生產(chǎn)類別應(yīng)為乙類設(shè)防。③ 光纜外皮采用發(fā)泡塑

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例

附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證

D.1 通 則D.1.1 潔凈室(區(qū))應(yīng)定期進行性能測試。以認證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測試認證工作，應(yīng)由專門檢測認證單位承擔，并應(yīng)提交檢測報告。D.1.3 測試和認證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達到穩(wěn)定運行。測試儀表應(yīng)在標定證書有效使用期內(nèi)。D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)