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1、總則

《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073-2013，經(jīng)住房和城鄉(xiāng)建設部2013年1月28日以第1627號公告批準發(fā)布。本規(guī)范是在《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073-2001的基礎上修訂而成，上一版的主編單位是中國電子工程設計院，參編單位是信息產(chǎn)業(yè)部第十一設計研究院、中國石油化工集團上海醫(yī)藥工業(yè)設計院、中國建筑科學研究院，主要起草人

3、空氣潔凈度等級

3.0.1 本規(guī)范修訂過程中，涉及潔凈技術(shù)的各有關單位、科技人員和專家們都強烈希望“規(guī)范應與國際接軌”，為此，本規(guī)范修訂中將空氣潔凈度等級等效采用國際標準《潔凈室及相關被控環(huán)境——第一部分，空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1，在該標準中列出的空氣潔凈度整數(shù)等級(表3.0.1)及其關注的大于或等于要求粒徑的允許濃度

4、總體設計

4.1.1 潔凈廠房與其他工業(yè)廠房的區(qū)別在于潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝有空氣潔凈度要求。因此，設有潔凈廠房的工廠廠址宜選在大氣含塵濃度較低的地區(qū)，如農(nóng)村、城市遠郊、水域之濱等，不宜選擇在氣候干旱、多風沙地區(qū)或有嚴重空氣污染的城市工業(yè)區(qū)。根據(jù)國內(nèi)外測試資料，農(nóng)村空氣污染程度較低，其含塵濃度一般只相當

5、建筑

5．1．1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當?shù)撵`活性，為生產(chǎn)工藝的調(diào)整創(chuàng)造條件。本條規(guī)定是指在不增加面積、高度的情況下，進行局部的工藝和生產(chǎn)設備調(diào)整，在這種情況下，廠房內(nèi)墻的可變性就是一個重要的措施，為此，本條規(guī)定不宜采用內(nèi)墻承重體系。5．1．3 主體結(jié)構(gòu)要具備同建筑處理及其室內(nèi)裝備和裝修水平相適應的

6、空氣凈化

6.1.1 潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要，是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經(jīng)濟的發(fā)展，各行各業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如：大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快，在1980年時其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成電路前工序

7、給水排水

7.1.1 潔凈廠房內(nèi)管道的敷設方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度，因此，條文中首先要求管道盡量在潔凈室外敷設，以最大限度地減少潔凈室內(nèi)的管道。目前，潔凈廠房的管道布置形式有：(1) 各種干管布置在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道、技術(shù)豎井內(nèi)。特別是有上、下夾層的潔凈廠房，給水排水干管大都設在下夾層內(nèi)。(2) 暗裝立管

8、工業(yè)管道

8.1.1、8.1.2 本次修訂的理由是：(1) 由于現(xiàn)有潔凈廠房內(nèi)，除給排水管道外的工業(yè)管道還包括各類氣體輸送、液體輸送和真空管道等，所以將本章擴大更名為“工業(yè)管道”。據(jù)了解，目前潔凈廠房內(nèi)的工業(yè)管道干管、支干管均基本敷設在上、下技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或特殊的管廊內(nèi)，這種方式既可滿足潔凈室(區(qū))生產(chǎn)工藝的

9、電氣

9.1.1 潔凈廠房內(nèi)有較多的電子設備系單相負荷，存在不平衡電流。而且環(huán)境中有熒光燈、晶體管、數(shù)據(jù)處理以及其他非線性負荷存在，配電線路中存在高次諧波電流，致使中性線上流有較大的電流。而TN-S或TN-C-S接地系統(tǒng)中有專用不帶電的保護接地線(PE)，因此安全性好。9.1.2 在潔凈廠房中，工藝設備用電的負

附錄A 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試和認證

附錄A 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試和認證A.1 通則本附錄編寫的指導思想是與國際接軌，依據(jù)國際標準《潔凈室及相關受控環(huán)境》ISO 14644、《生物污染控制》ISO 14698等的內(nèi)容進行編制。A.1.1 潔凈室或潔凈區(qū)在設計、施工驗收后，應進行綜合性能評價。潔凈室交付使用后，由于潔凈室維護管理不當，潔凈室工作人員誤