10 氣體供應

　　10.1 一般規(guī)定

　　10.1.1 潔凈廠房內應根據(jù)生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。

　　10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應根據(jù)氣體用量、氣體品質和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經技術經濟比較后確定。

　　10.1.3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應符合本規(guī)范外，還應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設計規(guī)范》GB 50177和《氧氣站設計規(guī)范》GB 50030等的有關規(guī)定。

　　10.1.4 潔凈廠房內的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。

　　10.1.5 潔凈室(區(qū))內的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，穿過潔凈室(區(qū))的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。

　　10.1.6 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間;當必須穿過時應設套管或雙層管。

　　10.1.7 高純氣體管道設計應符合下列規(guī)定：

　　1 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產工藝設備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，

　　2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間，

　　3 管道系統(tǒng)應設置吹掃口和取樣口。

　　10.1.8 潔凈廠房的可燃氣體管道系統(tǒng)應設置下列安全設施：

　　1 可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱，閥門箱應設置氣體泄漏報警和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯(lián)鎖;

　　2 接至用氣設備的支管和放散管，宜設置阻火設施;

　　3 引至室外的放散管，應設置防雷保護設施，

　　4 應設置導除靜電的接地設施。

　　10.1.9 氣體過濾器應根據(jù)產品生產工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置。終端氣體過濾器應設置在靠近用氣點處。

　　10.2 常用氣體系統(tǒng)

　　10.2.1 常用氣體供應系統(tǒng)宜在工廠內或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體。

　　10.2.2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散管引至室外，應高出本建筑的屋脊1m，并應采取防雨、防雜物侵入的措施。

　　10.2.3 氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：

　　1 氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇;

　　2 氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建;

　　3 各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間(站)內。若有特殊要求時，也可根據(jù)具體要求分別設置在各自的氣體純化間內;

　　4 氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。

　　10.2.4 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。

　　10.2.5 氣體純化間(站)或氣體入口室內，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間(站)或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規(guī)定：

　　1 應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施;

　　2 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥;

　　3 應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置;

　　4 應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯(lián)鎖;

　　5 應設置導除靜電的接地設施。

　　10.2.6 潔凈廠房內的氧氣管道等，應采取下列安全技術措施：

　　1 管道及閥門、附件應經嚴格的脫脂處理;

　　2 應設置導除靜電的接地設施;

　　3 氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。

　　10.2.7 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔凈室(區(qū))內，但應采取不積塵和易于清潔的措施。

　　10.2.8 氣體管道和閥門應根據(jù)產品生產工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：

　　1 氣體純度大于或等于99.999999%時，應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應采用隔膜閥;

　　2 氣體純度大于或等于99.999%、露點低于-76℃時，宜采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥;

　　3 氣體純度大于或等于99.99%、露點低于-60℃時，宜采用內壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥;

　　4 氣體管道閥門、附件的材質宜與相連接的管道材質一致。

　　10.2.9 氣體管道連接，應符合下列規(guī)定：

　　1 管道連接應采用焊接，

　　2 不銹鋼管應采用氬弧焊，宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊;

　　3 管道與設備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

　　4 管道與設備的連接應符合設備連接的要求。當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。

　　10.3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)

　　10.3.1 潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據(jù)各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規(guī)定，

　　1 供氣規(guī)模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量;

　　2 供氣品質應根據(jù)生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;

　　3 供氣系統(tǒng)可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;

　　4 應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機;

　　5 含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

　　10.3.2 干燥壓縮空氣管道內輸送露點低于-76℃時，應采用內壁電拋光低碳不銹鋼管或內壁電拋光不銹鋼管;露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

　　10.3.3 管道連接應符合下列規(guī)定：

　　1 宜采用焊接，不銹鋼管應采用氬弧焊;

　　2 含水量露點嚴于-40℃時，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

　　3 當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。

　　10.4 特種氣體系統(tǒng)

　　10.4.1 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應，在電子工廠內應設置儲存、分配系統(tǒng)。

　　10.4.2 潔凈廠房內特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區(qū))分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。

　　10.4.3 潔凈室(區(qū))內可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設置，應符合下列規(guī)定：

　　1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應設置在具有連續(xù)機械排風的特氣柜中;

　　2 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源;

　　3 一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產設備使用時，應設置多路閥門箱;

　　4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合本規(guī)范第10.1和10.2節(jié)的有關規(guī)定。

　　10.4.4 特種氣體分配系統(tǒng)應設置吹掃盤，并應符合下列規(guī)定：

　　1 應設置應急切斷裝置;

　　2 應設置過流量控制裝置，

　　3 應設置手動隔離閥;

　　4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng);

　　5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

　　10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內。儲存區(qū)的設置應符合下列規(guī)定：

　　1 儲存區(qū)應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上;

　　2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構筑物或圍欄的間距應大于3.0m;

　　3 儲存區(qū)頂棚的高度應大于3.5m。